欢迎来到上海浅望机械科技有限公司网站!
咨询热线

18301880219

当前位置:首页  >  技术文章  >  谈谈快速退火炉的常见问题及其改进措施

谈谈快速退火炉的常见问题及其改进措施

发表时间:2022-03-11  |  点击率:140
  快速退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
 
  今天小编给大家讲讲快速退火炉常见问题及其改进措施:
 
  1、退火温度是否达到规定温度。光亮退火炉一般是采取固溶热处理,也就是人们平常所谓的“退火”,温度范围为1040~1120℃。可以通过退火炉观察孔观察,退火区的不锈钢管应为白炽状态,但没出现软化下垂。
 
  2、退火气氛。一般都是采用纯氢作为退火气氛,气氛纯度好是99.99%以上,如果气氛中另一部分是惰性气体的话,纯度也可以低一点,但是不能含有过多氧气、水汽。
 
  3、炉体密封性。光亮退火炉应是封闭的,与外界空气隔绝;采用氢气作保护气的,只有一个排气口是通的(用来点燃排出的氢气)。检查的方法可以用肥皂水抹在退火炉各个接头缝隙处,看是否跑气;其中容易跑气的地方是退火炉进管子的地方和出管子的地方,这个地方的密封圈特别容易磨损,要经常检查经常换。
 
  4、保护气压力。为了防止出现微漏,炉内保护气应保持的正压,如果是氢气保护气,一般要求20kBar以上。
 
  5、炉内水汽。一方面检查炉体材料是否干燥,初次装炉,炉体材料要烘干;二是进炉的不锈钢管是否残留过多水渍,特别管子上面如果有孔的话,千万别漏水进去了,要不然就把炉子气氛全破坏了。 如果没有出现这几类问题的话开炉后应该退20米左右的不锈钢管就会开始发亮,是亮得反光的那种。