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快速退火炉供应商

简要描述:快速退火炉供应商
是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃,从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷,改善产品性能。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-10-21
  • 访  问  量: 219

详细介绍

快速退火炉供应商
工作原理 
  通过风机的循环使退火炉的炉腔内温度分布均匀,退火炉的两个炉腔室是可以独自运行的,提高了退火效率,每个炉腔内都有两台风机,却没有空气过滤装置,跟实际情况有出入。通过风机循环使炉内温度分布均匀,通过热处理重组薄膜材料微观结构,提高稳定性及转化效率。将铸件加热到950℃左右 ,保温一定时间后适当冷却,用以消除钢铁铸件和焊接件的内应力。对于钢铁制品加热后开始形成奥氏体的温度以下100~200℃,保温后在空气中冷却,即可消除内应力。
广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。


快速退火炉供应商主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。

  真空腔室:真空腔室的工作空间,晶圆在这里进行快速热处理。
  加热室:加热室以多个红外灯管为加热元件,以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。
  进气系统:真空腔室尾部有进气孔,精确控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。
  真空系统:在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀,可以有效确保腔室真空度,同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。
  温度控制系统:温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。
  气冷系统:真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体,来加速冷却被热处理的工件,满足工艺使用要求。
  水冷系统:水冷系统主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。


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