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快速退火炉供应$n是利用卤素红外灯做为热源，通过极快的升温速率，从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷，改善产品性能。主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成

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快速退火炉$n是利用卤素红外灯做为热源，通过极快的升温速率，将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃，从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷，改善产品性能。